????SFN系列高性能主動(dòng)減振器垂向以空氣彈簧并聯(lián)磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)作為主支撐，水平方向以機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與正剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)，配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制及精密定位控制，實(shí)現(xiàn)6自由度高性能主動(dòng)減振和穩(wěn)姿?？梢詽M足芯片前道制造、半導(dǎo)體量測(cè)等裝備的高性能減振要求。

SFN120A

SFN160A

SFN160B