????SFN系列高性能主動(dòng)減振器垂向以空氣彈簧并聯(lián)磁負剛度機構作為主支撐,水平方向以機械式倒立擺負剛度機構與正剛度機構并聯(lián),配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制及精密定位控制,實(shí)現6自由度高性能主動(dòng)減振和穩姿??梢詽M(mǎn)足芯片前道制造、半導體量測等裝備的高性能減振要求。

3、SFN氣浮并聯(lián)負剛度系列

SFN120A

3、SFN氣浮并聯(lián)負剛度系列

SFN160A

3、SFN氣浮并聯(lián)負剛度系列

SFN160B