SFV系列真空型主動(dòng)減振器垂向以空氣彈簧并聯(lián)磁負剛度機構作為主支撐,水平方向以機械式倒立擺負剛度機構與正剛度機構并聯(lián),配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制及精密定位控制,實(shí)現6自由度高性能主動(dòng)減振和穩姿。該系列可用于真空環(huán)境。

4、SFV真空系列

SFV180A