????PAD系列主動(dòng)減振平臺采用3個(gè)或4個(gè)減振模塊集成于一體,每個(gè)模塊以金屬彈簧/空氣彈簧/磁懸浮彈簧作為主支撐實(shí)現三向隔振,配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制,實(shí)現6自由度高性能主動(dòng)減振,可選配精密定位控制功能??梢詽M(mǎn)足各種高端電鏡、檢測、量測設備等的高性能減振要求。

5、PAD一體式平臺系列

PFQ050A

5、PAD一體式平臺系列

PMQ008A

5、PAD一體式平臺系列

PAQ080A