????PAD系列主動(dòng)減振平臺(tái)采用3個(gè)或4個(gè)減振模塊集成于一體，每個(gè)模塊以金屬?gòu)椈?空氣彈簧/磁懸浮彈簧作為主支撐實(shí)現(xiàn)三向隔振，配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)6自由度高性能主動(dòng)減振，可選配精密定位控制功能。可以滿足各種高端電鏡、檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備等的高性能減振要求。

PFQ050A

PMQ008A

PAQ080A